20 世紀中期 蘇聯拉扎林科夫婦研究開關觸點受火花放電腐蝕損壞的現象和原因時，發現電火花的瞬時高溫可以使局部的金屬熔化、氧化而被腐蝕掉，從而開創和發明了電火花加工方法線切割放電機也于1960年發明于蘇聯。當時以投影器觀看輪廓面前后左右手動進給工作臺面加工，其實認為加工速度雖慢，卻可加工傳統機械不易加工的微細形狀。代表的實用例子是化織噴嘴的異形孔加工。當時使用之加工液用礦物質性油(燈油)。絕緣性高，極間距離小，加工速度低于現在械械，實用性受限。
將之NC化，在脫離子水(接近蒸餾水)中加工的機種首先由瑞士放電加工機械制造廠在1969年巴黎工作母機展覽會中展出，改進加工速度，確立無人運轉狀況的安全性。但NC紙帶的制成卻很費事，若不用大型計算機自動程序設計，對使用者是很大的負擔。在廉價的自動程序設計裝置(Automatic Programed Tools APT)出現前，普及甚緩。
日本制造廠開發用小型計算機自動程序設計的線切割放電加工機廉價，加速普及。線切割放電加工的加工形狀為二次元輪廓。自動程序裝置廣用簡易形APT(APT語言比正式機型容易)，簡易形APT的出現為線切割放電機發展的重要因素
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